LAM 685-247270-001

LAM 685-247270-001产品说明：

LAM 685-247270-001是一种等离子蚀刻室，用于实现高精度蚀刻，以满足先进半导体制造过程的需求。

产品参数：

高精度：能够实现高精度蚀刻。

高效率：具有高生产效率。

高抽速：能够快速达到所需的真空水平。

产品规格：

高抽速：50L/s的抽速可快速抽真空。

低噪音：运行时噪音低，提高工作环境的舒适度。

低功耗：节能环保，降低运营成本。

系列：

属于LAM Research的产品系列。

特征：

高精度蚀刻能力，适用于复杂的工业应用。

高效生产，快速达到所需的真空水平。

作用与用途：

主要用于半导体制造过程中的高精度蚀刻。

可作为控制器组件，用于FE-HD1 Mach 1系统，这是一个蚀刻工具，用于半导体制造。

应用领域：

半导体制造：该控制器在半导体设备中扮演关键角色，管理蚀刻过程。