LAM 810-068158-015

LAM 810-068158-015产品参数：

电源电压：3.3V。

工作温度范围：-40°C至+85°C。

尺寸：500mm x 300mm x 200mm。

重量：10kg。#

产品规格：

测量范围：0~100%。

测量精度：0.1%。

测量时间：2~5秒。

工作湿度：0~95%。

系列与特征：

LAM 810-068158-015属于LAM Research的半导体设备系列，其主要特征包括高精度的模拟量输入输出功能、高可靠性和稳定性，以及支持多种通信协议。此外，该模块设计紧凑，低功耗，易于使用，能够提高工作效率。

作用与用途：

该模块的主要作用是连接蚀刻机器人与控制系统，确保蚀刻工艺的精确性和可靠性。它能够控制蚀刻机器人的运动、监测蚀刻工艺参数、诊断蚀刻机器人故障、进行数据采集和远程控制。

应用领域：

LAM 810-068158-015广泛应用于半导体制造设备、蚀刻设备、薄膜沉积设备、清洗设备和检测设备等领域。这些应用领域涉及需要精确蚀刻工艺的各类工业过程，确保了工业生产的连续性和高效性。