AMAT 0090-07135
AMAT 0090-07135
AMAT 0090-07135产品说明
AMAT 0090-07135是一款半导体电子分组卡，专为AMAT半导体设备而设计，提供可靠和高效的性能。该产品属于AMAT的蚀刻腔组件系列之一，适用于各种半导体制造工艺。
产品参数
型号：0090-07135
兼容性：适用于AMAT半导体设备
处理器：英特尔酷睿2双核处理器，1.5 GHz
内存：2GB DDR-400 ECC内存
产品规格
外形尺寸：符合先进TCA（ATCA）平台的标准
抽速率：高抽速率
噪音和振动：低噪音和低振动
寿命：长寿命
特征
高精度控制：提供精确的气体流量、温度与压力控制，确保工艺稳定性
高可靠性：采用成熟的设计和制造工艺，具有很高的可靠性
模块化设计：便于维护和升级
易于维护：结构简单，易于维护
作用与用途
AMAT 0090-07135主要用于半导体制造过程中的特定步骤，如晶圆清洗、刻蚀、沉积、薄膜沉积和封装等。它能够执行高精度的等离子体刻蚀，适用于硅片和其他材料的集成电路制造。
应用领域
该产品广泛应用于半导体制造行业，是半导体生产线上的重要设备之一。具体应用场景包括：
晶圆加工：用于晶圆清洗、刻蚀、沉积等工艺
薄膜沉积：控制薄膜沉积过程，如CVD（化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）等
封装：用于半导体封装过程
